專家信息：

陳文元，男，1944年9月生，浙江慈溪人�，F(xiàn)任上海交通大學微納科學技術研究院教授，博士生導師，曾擔任718慣導陀螺儀主設計師，PL-1小型平臺羅經(jīng)陀螺設計師。

教育及工作經(jīng)歷：

1968年畢業(yè)于上海交通大學。

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社會兼職：

1、上海市學位委員會“電子科學與技術”學位評議組成員。

教學情況：

主講課程：

講授微機電系統(tǒng)（MEMS）等課程。

培養(yǎng)學生情況：

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科學研究：

研究方向：

主要研究微光機電系統(tǒng)設計及其集成技術、MEMS傳感器及執(zhí)行器。

承擔的科研項目情況：

主持或參加科研項目多項。

科研成果：

1 非硅MEMS技術及其應用研究 陳文元;丁桂甫;陳迪;陳佳品;戴旭涵;劉景全;張衛(wèi)平;汪紅;朱軍;李振波;吳校生;趙小林;楊春生 上海交通大學 2007

2 連續(xù)變焦超長超高真空準直、聚焦系統(tǒng)和水冷雙晶單色器 陳文元;張衛(wèi)平;高雪官;盛偉繁;閻永廉;柳暉 上海交通大學 2007

3 用于信息安全的MEMS強鏈 陳文元;高楊;趙小林;張衛(wèi)平;馮建智;丁桂甫;周狄;楊春生;陳佳品;張琛;吳校生;李勝勇;馮敏華;談順毅 上海交通大學 2005

4 用于北京同步輻射X光束線準直、單色、聚焦系統(tǒng) 陳文元;盛偉繁;高雪官;劉鵬;張衛(wèi)平;謝亞寧;洗鼎昌;胡天斗;閻永廉 上海交通大學 2003

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發(fā)明專利：

1 電磁驅動式撲翼微飛行器 張衛(wèi)平;孟坤;遲鵬程;陳文元;李洪誼;崔峰;吳校生;劉武 上海交通大學 2011-01-19

2 雙翼式仿昆飛行器 張衛(wèi)平;孟坤;遲鵬程;陳文元;李洪誼;崔峰;劉武;吳校生 上海交通大學 2011-01-19

3 線圈陣列的微型生物粒子操縱系統(tǒng) 張衛(wèi)平;王群;李世鵬;陳文元;劉武;崔峰;吳校生 上海交通大學 2011-02-16

4 壓電仿昆蟲微撲翼飛行器 張衛(wèi)平;遲鵬程;陳文元;李洪誼;孟坤;劉武;吳校生;崔峰 上海交通大學;中國科學院沈陽自動化研究所 2011-01-05

5 仿昆蟲微型撲翼飛行器 張衛(wèi)平;遲鵬程;陳文元;李洪誼;孟坤;劉武;崔峰;吳校生 上海交通大學;中國科學院沈陽自動化研究所 2011-01-19

6 基于永磁體的生物粒子三維操縱裝置 張衛(wèi)平;李世鵬;陳文元;劉武;胡牧風 上海交通大學 2010-09-01

7 基于MEMS技術的抗磁粒子三維操縱裝置 張衛(wèi)平;李世鵬;陳文元;劉武;胡牧風 上海交通大學 2010-09-15

8 基于線圈的生物粒子三維操縱裝置 張衛(wèi)平;李世鵬;陳文元;劉武;胡牧風 上海交通大學 2010-10-06

9 基于壓電晶體頻率轉換機構的微型發(fā)電裝置 張衛(wèi)平;秦奎;陳文元;吳校生;崔峰;劉武 上海交通大學 2010-01-06

10 復合密度和剛度的微機電固態(tài)陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;吳校生;崔峰;劉武;盧奕鵬 上海交通大學 2009-12-30

11 驅動鑒碼耦合一體化微小機電密碼鎖 張衛(wèi)平;秦奎;陳文元 上海交通大學 2010-02-10

12 靜電懸浮電暈驅動旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;劉凱;陳文元;劉武;戴福彥;吳校生;崔峰 上海交通大學 2009-10-21

13 利用電磁和電荷弛豫工作的懸浮轉子微陀螺 張衛(wèi)平;劉凱;陳文元;崔峰;吳校生 上海交通大學 2009-10-21

14 利用電磁和電暈工作的懸浮轉子微陀螺 張衛(wèi)平;劉凱;陳文元;劉武;戴福彥;崔峰;吳校生 上海交通大學 2009-10-21

15 反磁懸浮和電暈驅動旋轉的微陀螺 張衛(wèi)平;劉凱;陳文元;劉武;戴福彥;吳校生;崔峰 上海交通大學 2009-10-21

16 反磁懸浮振動微陀螺 張衛(wèi)平;戴福彥;陳文元;劉武;劉凱 上海交通大學 2009-07-08

17 硬磁懸浮振動微陀螺 張衛(wèi)平;戴福彥;陳文元;劉凱 上海交通大學 2009-07-08

18 基于磁致伸縮與壓電效應的無功耗加速度計 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元;蔡新午 上海交通大學 2009-07-08

19 帶有集中質量塊的壓電式微固體模態(tài)陀螺 吳校生;陳文元 上海交通大學 2009-04-01

20 具有正方形表面長方體壓電振子的全固態(tài)雙軸陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元;吳校生;崔峰 上海交通大學 2009-01-07

21 具有正方形通孔壓電振子的全固態(tài)雙軸陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元;吳校生;崔峰 上海交通大學 2009-01-07

22 具有長方體振子的全固態(tài)雙軸磁致伸縮壓電陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元 上海交通大學 2009-01-07

23 具有“回”型槽結構壓電振子的全固態(tài)雙軸陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元;吳校生;崔峰 上海交通大學 2009-01-07

24 具有“回”型柱狀體振子磁致伸縮壓電陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元 上海交通大學 2009-01-07

25 具有磁致伸縮振子的雙軸壓電檢測陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元 上海交通大學 2009-01-07

26 FPGA控制MEMS強鏈的移動硬盤加密系統(tǒng) 陳文元;湯堅;張衛(wèi)平;許鵬;李怡斌 上海交通大學 2008-10-08

27 單片機控制MEMS強鏈的移動硬盤加密系統(tǒng) 陳文元;湯堅;張衛(wèi)平;李怡斌;許鵬 上海交通大學 2008-10-08

28 基于MEMS強鏈和FPGA技術的移動硬盤加密系統(tǒng) 陳文元;湯堅;張衛(wèi)平;李怡斌;許鵬 上海交通大學 2008-10-08

29 基于MEMS密碼鎖和雙FPGA的SATA硬盤物理加密系統(tǒng) 張衛(wèi)平;許鵬;陳文元;李怡斌;湯堅 上海交通大學 2008-10-08

30 基于MEMS密碼鎖和雙FPGA的IDE硬盤物理加密系統(tǒng) 張衛(wèi)平;許鵬;陳文元;李怡斌;湯堅 上海交通大學 2008-10-08

31 基于MEMS密碼鎖及FPGA的硬盤加密系統(tǒng) 張衛(wèi)平;李怡斌;陳文元;許鵬;湯堅 上海交通大學 2008-10-08

32 基于MEMS強鏈的PCI接口硬盤加密系統(tǒng) 張衛(wèi)平;李怡斌;陳文元;湯堅;許鵬 上海交通大學 2008-10-08

33 微固體模態(tài)陀螺 吳校生;陳文元 上海交通大學 2008-09-10

34 圓形及多環(huán)形軸向充磁永磁反磁轉子電荷馳豫旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-07-09

35 圓形及多環(huán)形軸向充磁永磁反磁轉子感應旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-07-09

36 圓形及多環(huán)形軸向充磁永磁反磁轉子靜電旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-07-09

37 圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁反磁轉子電荷馳豫旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-07-09

38 圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁永磁反磁轉子感應旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-07-09

39 圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁永磁反磁轉子靜電旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-07-09

40 圓形及多環(huán)形軸向充磁永磁反磁敏感質量微加速度計 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-07-09

41 圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁永磁反磁敏感質量微加速度計 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-07-09

42 熱解石墨基片上微結構的實現(xiàn)方法 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學 2008-06-18

43 金屬電容式微加速度計 陳文元;李凱;吳校生;張衛(wèi)平;崔峰 上海交通大學 2007-12-19

44 雙模式反磁轉子感應旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學 2007-11-14

45 雙模式反磁轉子靜電旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學 2008-01-23

46 雙模式反磁敏感質量微加速度計 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學 2008-01-23

47 撓性靜電補償式靜電加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元;凌靈 上海交通大學 2007-10-17

48 撓性靜電補償式線圈加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元;凌靈 上海交通大學 2007-10-17

49 撓性硬磁補償式靜電加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學 2007-10-17

50 撓性硬磁軟磁補償式靜電加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學 2007-10-17

51 撓性硬磁補償式線圈加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學 2007-10-17

52 流體與旋轉驅動一體化撓性靜電補償式靜電加矩微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學 2007-10-17

53 流體與旋轉驅動撓性硬磁軟磁補償式靜電加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學 2007-10-17

54 流體與旋轉驅動一體化撓性靜電補償式線圈加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學 2007-10-17

55 流體與旋轉驅動撓性硬磁軟磁補償式線圈加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學 2007-10-17

56 撓性硬磁軟磁補償式線圈加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學 2007-10-24

57 流體與旋轉驅動一體化撓性硬磁補償式靜電加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學 2007-10-24

58 流體與旋轉驅動一體化撓性硬磁補償式線圈加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學 2007-10-24

59 定子內嵌式電磁懸浮微系統(tǒng) 吳校生;陳文元 上海交通大學 2007-09-26

60 反磁懸浮轉子靜電驅動微型陀螺儀 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學 2007-08-22

61 反磁轉子電磁感應驅動微型陀螺儀 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學 2007-08-22

62 懸浮式反磁敏感質量微型加速度計 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學 2007-08-22

63 內穩(wěn)電磁懸浮環(huán)形轉子微轉動陀螺 吳校生;陳文元;趙小林 上海交通大學 2007-08-15

64 定子內嵌式電磁懸浮轉子微馬達 吳校生;陳文元;趙小林 上海交通大學 2007-08-29

65 內嵌鎳絲雙菱型結構加熱式驅動SU-8基體微鉗 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元 上海交通大學 2007-03-21

66 雙定子靜電穩(wěn)定電磁懸浮微轉動陀螺 吳校生;陳文元 上海交通大學 2007-02-28

67 用于直線推進的多弧結構的改性SU8電熱微執(zhí)行器 張衛(wèi)平;陳實;陳文元 上海交通大學 2007-03-07

68 撓性立柱蹺板式雙層結構微加速度計 張衛(wèi)平;萬明亮;陳文元 上海交通大學 2007-01-03

69 靜電支撐懸浮電磁感應旋轉微陀螺 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學 2006-12-13

70 主動懸浮永磁環(huán)形轉子異步感應微機械陀螺陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;段永瑞 上海交通大學 2006-11-08

71 基于輪腿式復合機構的微小型步行機器人 陳文元;曹雯;張衛(wèi)平;彭松林;左德參 上海交通大學 2006-09-27

72 抗磁性懸浮永磁轉子微加速度計 陳文元;劉武;張衛(wèi)平 上海交通大學 2006-09-13

73 基于MEMS密碼鎖的硬盤加密系統(tǒng) 陳文元;馮敏華;談順毅;張衛(wèi)平;李勝勇 上海交通大學 2006-09-27

74 雙定子電磁懸浮轉子微轉動陀螺 陳文元;吳校生;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學 2006-08-16

75 電容式微流體角加速度計 吳校生;陳文元;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學 2006-08-16

76 獨****密碼集生成方法 陳文元;談順毅;張衛(wèi)平;李勝勇;馮敏華 上海交通大學 2006-08-16

77 電磁懸浮靜電驅動微轉動陀螺 吳校生;陳文元;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學 2006-07-19

78 具有自動復位系統(tǒng)的逐位鑒別可多次試開的MEMS強鏈 陳文元;李勝勇;張衛(wèi)平;馮敏華;談順毅 上海交通大學 2006-08-30

79 磁場可控介磁穩(wěn)定懸浮轉子微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;趙小林 上海交通大學 2006-05-24

80 永磁介磁組合懸浮轉子微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;趙小林 上海交通大學 2006-05-24

81 磁電式循環(huán)混合器 陳文元;賈曉宇;牛志強;張衛(wèi)平 上海交通大學 2006-04-26

82 陣列式多腔壓電驅動微混合器 陳文元;賈曉宇;牛志強;張衛(wèi)平 上海交通大學 2006-04-26

83 壓電驅式微混合芯片 陳文元;賈曉宇;張衛(wèi)平;牛志強 上海交通大學 2008-05-28

84 壓電驅式微混合芯片 陳文元;賈曉宇;張衛(wèi)平;牛志強 上海交通大學 2006-02-22

85 高溫超導穩(wěn)懸永磁轉子微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;段永瑞 上海交通大學 2005-12-28

86 電磁驅動動力調諧撓性轉子微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞 上海交通大學 2005-12-28

87 軟磁吸懸高速旋轉剛體微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞 上海交通大學 2005-12-21

88 基于微機電系統(tǒng)信息安全強鏈的電腦鎖 陳文元;李勝勇;張衛(wèi)平 上海交通大學 2005-12-21

89 聚合酶鏈反應生物芯片溫度控制方法 陳文元;邵詩逸;牛志強;張衛(wèi)平 上海交通大學 2005-12-21

90 單片氣動凝膠微閥 陳文元;牛志強;賈曉宇;張衛(wèi)平 上海交通大學 2005-10-26

91 單片氣動凝膠微閥的制造方法 陳文元;牛志強;張衛(wèi)平;賈曉宇 上海交通大學 2005-11-09

92 基于雙氧水分解的微氧氣泵 陳文元;牛志強;邵詩逸;張衛(wèi)平 上海交通大學 2006-01-04

93 基于雙氧水分解的微氧氣泵制造方法 陳文元;牛志強;邵詩逸;張衛(wèi)平 上海交通大學 2006-01-04

94 MEMS計算機安全開啟裝置 陳文元;李勝勇;張衛(wèi)平 上海交通大學 2005-10-26

95 濺射TiO2使聚合物微流芯片表面改性的方法 陳文元;牛志強;張衛(wèi)平;賈曉宇 上海交通大學 2005-08-24

96 基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析檢測芯片 陳文元;賈曉宇;牛志強;張衛(wèi)平 上海交通大學 2005-07-27

97 用于堆積微加工技術的電機定子繞組布線方法 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞 上海交通大學 2005-06-01

98 微機械信息安全網(wǎng)絡認證系統(tǒng) 陳文元;李勝勇;張衛(wèi)平;趙小林 上海交通大學 2005-03-02

99 一體化微加工多層復雜結構的方法 陳文元;姜勇;趙小林;丁桂甫;張衛(wèi)平 上海交通大學 2005-02-23

100 螺旋式微通道聚合酶鏈式反應芯片 陳文元;賈曉宇;牛志強;張衛(wèi)平 上海交通大學 2005-02-23

101 靜電懸浮轉子微慣性傳感器及其制造方法 陳文元;崔峰;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學 2005-02-16

102 利用靜電和電荷馳豫工作的懸浮轉子MEMS微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞;崔峰 上海交通大學 2005-01-26

103 基于微機電系統(tǒng)的單向步進反向自鎖的電磁驅動器 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;周狄;張琛;段永瑞 上海交通大學 2004-12-29

104 用于重要系統(tǒng)安全保證的密碼機械固化方法 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞 上海交通大學 2004-12-22

105 磁懸浮轉子方位微陀螺 陳文元;吳校生;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學 2004-02-25

106 同步輻射空間姿態(tài)可調連續(xù)變焦超長準直和聚焦系統(tǒng) 張衛(wèi)平;陳文元;盛偉繁;閻永廉;王俊杰 上海交通大學 2004-02-04

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論文專著：

在國內外發(fā)表論文100余篇。

出版專著：

1、《微執(zhí)行器》 上海交通大學出版社 2005

2、《MEMS強鏈及其應用》 科學出版社 2007

3、《集成微流控聚合物PCR芯片》 上海交通大學出版社 2009

4、《微型撲翼式仿生飛行器》 上海交通大學出版社 2010

發(fā)表論文：

1 抗磁懸浮的原理、特點和應用 李世鵬; 張衛(wèi)平; 陳文元; 劉武; 成宇翔 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】磁性材料及器件 2011-02-15

2 磁卡機用直流伺服電機的研究 陳文元; 陳鐵年; 丁濤 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】電子計算機外部設備 1994-09-15

3 磁卡機系統(tǒng)直流電機在啟動與運行狀態(tài)下的動態(tài)特性研究 陳文元; 呂宣斌; 丁濤 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】電子計算機外部設備 1995-11-15

4 磁卡機系統(tǒng)直流電機制動階段動態(tài)特性研究 陳文元; 丁濤 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】電子計算機外部設備 1996-11-15

5 用于φ2mm電磁型微馬達的微3K-2型行星齒輪減速器的研究 陳文元; 丁濤; 李世峰; 姚景元 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】微細加工技術 1997-12-30

6 微細EDM技術加工微齒輪的研究 陳文元; 丁濤; 張衛(wèi)平; 姚錦元 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】微細加工技術 1998-06-30

7 旋轉軸的磁流體密封技術 施文康; 陳文元 上海交通大學; 上海交通大學 【期刊】磨床與磨削 1989-02-15

8 基于DSP的靜電懸浮轉子微陀螺多自由度控制系統(tǒng)設計 肖奇軍; 陳文元; 崔峰; 李勝勇; 張衛(wèi)平; 肖奇軍 上海交通大學微納科學技術研究院; 廣東肇慶學院電子信息工程系 【期刊】伺服控制 2008-12-15

9 一種新型玻璃基底可用于微陀螺的反磁懸浮結構的設計與制造 戴福彥; 劉武; 張衛(wèi)平; 陳文元; 劉凱; 張忠榕 上海交通大學微納米科學技術研究院; 微米/納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】傳感技術學報 2010-01-20

10 靜電懸浮微陀螺的壓膜阻尼特性 應法明; 肖奇軍; 崔峰; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】中國慣性技術學報 2010-04-15

11 MEMS流體陀螺的研究進展 秦奎; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室 【期刊】現(xiàn)代電子技術 2010-05-15

12 基于科氏加速度的微陀螺 劉凱; 張衛(wèi)平; 陳文元; 李凱; 肖奇軍; 馬高印 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室 【期刊】壓電與聲光 2010-06-15

13 靜電懸浮微陀螺多路同步DDS信號發(fā)生器設計 覃貞妮; 劉武; 陳文元; 崔峰; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室 【期刊】現(xiàn)代電子技術 2010-09-15

14 壓電型微固體模態(tài)陀螺的相位差檢測 何程鵠; 吳校生; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院; 微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室 【期刊】傳感技術學報 2010-07-20

15 基于DSP的靜電懸浮微陀螺模擬伺服系統(tǒng)的研究 應法明; 肖奇軍; 崔峰; 陳文元; 張衛(wèi)平; 劉武 上海交通大學微納科學技術研究院; 廣東肇慶學院電子信息與機電工程學院 【期刊】測控技術 2010-10-18

16 基于混合EMD方法的加速度計信號處理 錢莉; 徐國平; 陳文元; 楊寧 上海工程技術大學機械工程學院; 上海卡斯柯信號有限公司; 上海交通大學微納科學研究院; 上海電力學院電力與自動化工程學院 【期刊】傳感技術學報 2010-11-20

17 基于虛擬儀器的壓電陀螺掃頻信號系統(tǒng)設計 王立奇; 陳文元; 盧弈鵬; 馬高印; 吳校生 上海交通大學微納科學技術研究院微米納米加工國家級重點實驗室 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2010-07-20

18 靜電懸浮轉子微陀螺宏模型的提取和分析 肖奇軍; 崔峰; 陳文元; 李勝勇; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院; 廣東肇慶學院電子信息工程系 【期刊】壓電與聲光 2009-02-15

19 基于DSP的靜電懸浮轉子微陀螺測控系統(tǒng) 劉凱; 張衛(wèi)平; 陳文元; 周海軍; 肖奇軍; 馬高印; 李凱 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室 【期刊】傳感技術學報 2009-02-20

20 FPGA控制MEMS強鏈的移動硬盤加密設計 湯堅; 陳文元; 張衛(wèi)平; 許鵬; 李怡斌 上海交通大學微納科學技術研究院 【期刊】計算機工程與應用 2009-04-01

21 內嵌永磁體陣列的柔性振動膜微型電磁驅動器的設計與制作工藝 蘇宇鋒; 段智勇; 鄭鵬; 劉武發(fā); 陳文元 鄭州大學; 上海交通大學微納科學技術研究院 【期刊】儀表技術與傳感器 2009-04-15

22 基于MEMS加速度計的輸入系統(tǒng)的研究 錢莉; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】傳感技術學報 2009-05-20

23 基于MEMS強鏈和FPGA的物理認證系統(tǒng) 許鵬; 張衛(wèi)平; 陳文元; 李怡斌; 湯堅 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】微計算機信息 2009-05-15

24 靜電懸浮轉子微陀螺微位移信號檢測系統(tǒng)的設計 肖奇軍; 陳文元; 崔峰; 李勝勇; 黃曉剛; 邵珰珰 上海交通大學微納科學技術研究院; 廣東肇慶學院電子信息工程系 【期刊】機電工程技術 2009-05-15

25 MEMS強鏈在硬盤加密系統(tǒng)中的應用研究 李怡斌; 張衛(wèi)平; 陳文元; 許鵬; 湯堅 上海交通大學微納科學技術研究院 【期刊】計算機工程與設計 2009-06-16

26 MEMS微電機綜述 戴福彥; 張衛(wèi)平; 陳文元; 劉凱; 馬高印; 肖奇軍; 張忠榕 上海交通大學微納米科學技術研究院 【期刊】微電機 2009-08-28

27 基于MEMS強鏈和雙FPGA的硬盤加密系統(tǒng) 許鵬; 張衛(wèi)平; 陳文元; 李怡斌; 湯堅 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】計算機工程與設計 2009-08-28

28 基于ARM平臺的MEMS輸入設備的固件設計 錢莉; 張衛(wèi)平; 陳文元; 湯堅 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】微計算機信息 2009-08-23

29 靜電懸浮轉子微陀螺微位移數(shù)字化電容檢測通道設計 馬高印; 陳文元; 張衛(wèi)平; 崔鋒; 王立奇 上海交通大學微納科學技術研究院; 中國航天科技集團第九研究院13所 【期刊】中國慣性技術學報 2009-12-15

30 基于FPGA驅動微陀螺旋轉的移相電路 李世鵬; 張衛(wèi)平; 劉凱; 劉武; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】中國慣性技術學報 2009-12-15

31 輪腿式微型機器人系統(tǒng)研究 曹雯; 張衛(wèi)平; 陳文元; 彭松林 上海交通大學微納科學技術研究院 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2009-08-20

32 基于ARM和FPGA的微加速度計數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)設計 秦奎; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室 【期刊】現(xiàn)代電子技術 2010-01-15

33 磁懸浮轉子微陀螺電容結構設計 黃曉剛; 劉武; 邵詩逸; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2006-01-20

34 基于微加速度傳感器的無線鼠標的設計 黃得志; 陳文元; 楊華鋒; 錢莉; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室 上海 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2006-01-20

35 磁懸浮轉子微陀螺旋轉驅動方式研究 邵詩逸; 黃曉剛; 劉武; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室 上海 【期刊】微電子學 2006-02-20

36 磁懸浮轉子微陀螺旋轉驅動電路設計 邵詩逸; 黃曉剛; 劉武; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室 上海 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2006-02-20

37 磁懸浮轉子微陀螺的電容檢測系統(tǒng)分析和實現(xiàn) 劉武; 黃曉剛; 邵詩逸; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院薄模與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄模與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄模與微細加工教育部重點實驗室微納米加工國防實驗室 上海 【期刊】測控技術 2006-01-18

38 磁懸浮轉子微陀螺虛擬儀器測試系統(tǒng) 黃曉剛; 劉武; 陳文元; 張衛(wèi)平; 吳校生 上海交通大學微納科學技術研究院 薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】電測與儀表 2006-05-25

39 反干涉齒輪集微機電系統(tǒng)密碼鎖鑒碼問題 張衛(wèi)平; 陳文元; 趙小林; 李勝勇; 吳校生; 馮敏華; 談順毅 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】上海交通大學學報 2006-07-28

40 微密碼鎖電腦安全認證的軟件系統(tǒng) 談順毅; 陳文元; 張衛(wèi)平; 李勝勇; 馮敏華 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院 上海 【期刊】計算機工程與應用 2006-10-11

41 用于微流控芯片的PDMS微混合器工藝和數(shù)值分析 陳實; 張衛(wèi)平; 陳文元; 牛志強 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室 上海 【期刊】微細加工技術 2006-12-15

42 基于加速度采集系統(tǒng)的無線輸入設備的研究 黃得志; 陳文元; 楊華峰; 錢莉; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室 上海 【期刊】計算機應用研究 2007-02-01

43 撲翼微飛行器飛行時的數(shù)值模擬與分析(英文) 左德參; 彭松林; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】空氣動力學學報 2007-03-30

44 電磁驅動型MEMS安全保險裝置關鍵技術研究 馮敏華; 陳文元; 張衛(wèi)平; 談順毅; 李勝勇 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院 上海 【期刊】新技術新工藝 2007-01-25

45 曲柄搖桿撲翼機構的聯(lián)合仿真及優(yōu)化設計 彭松林; 左德參; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院 微米/納米加工技術國家重點實驗室; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院; 微米/納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】系統(tǒng)仿真學報 2007-04-20

46 SU-8膠模去除技術 崔峰; 靖向萌; 趙小林; 丁桂甫; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】微細加工技術 2007-02-15

47 一種新穎的同步輻射單色器鏡箱調節(jié)裝置——點槽面機構 柳暉; 高雪官; 曹沖振; 陳文元; 劉鵬; 謝亞寧; 劉濤; 桑園 上海師范大學機械與電子信息工程學院; 上海交通大學機械與動力工程學院; 上海交通大學微納米研究院; 中國科學院高能物理研究所同步輻射室; 上海師范大學外國語學院 上海 【期刊】紅外 2007-07-10

48 角加速度計發(fā)展綜述 吳校生; 陳文元 上海交通大學 微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學; 微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】中國慣性技術學報 2007-08-15

49 靜電懸浮轉子微陀螺再平衡回路設計 肖奇軍; 陳文元; 崔峰; 李勝勇; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院 上海; 廣東肇慶學院電子信息工程系; 廣東肇慶 【期刊】中國慣性技術學報 2007-10-15

50 基于MEMS技術的無線USB鼠標研究 楊華峰; 陳文元; 黃得志; 張衛(wèi)平; 吳校生 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】微處理機 2007-10-15

51 PCR溫度控制技術的研究進展 陳實; 張衛(wèi)平; 陳文元; 邵詩逸; 牛志強 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】測控技術 2007-11-18

52 基于Sigma-Delta技術的差分電容檢測電路設計 萬明亮; 張衛(wèi)平; 黃曉剛; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室 上海 【期刊】電測與儀表 2007-11-25

53 基于NRF9E5射頻無線遙控系統(tǒng)的設計 左德參; 馮敏華; 陳文元; 彭松林; 曹雯 上海交通大學微納科學技術研究院 微米/納米加工技術國家重點實驗室; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院; 微米/納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】微計算機信息 2007-12-15

54 基于DSP的懸浮轉子微陀螺數(shù)字幅度解調 周海軍; 黃曉剛; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室 上海 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2007-11-20

55 電磁懸浮轉子微陀螺懸浮穩(wěn)定性分析(英文) 吳校生; 陳文元; 張衛(wèi)平; 黃曉剛; 劉武; 崔峰 上海交通大學; 上海交通大學; 上海交通大學 微納科學技術研究院微米納米加工技術國家重點實驗室; 薄膜與微細技術國家教育部重點實驗室; 微納科學技術研究院微米納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】傳感技術學報 2008-01-15

56 壓電型微固體模態(tài)陀螺的模態(tài)及諧振分析 吳校生; 盧奕鵬; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院微米納米加工國家級重點實驗室 【期刊】傳感技術學報 2008-12-20

57 基于微加速度計的鼠標系統(tǒng)設計 湯堅; 陳文元; 姜曉波; 錢莉 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】計算機工程與設計 2008-12-16

58 靜電懸浮轉子微陀螺信號發(fā)生電路有源帶通濾波器設計 邵珰珰; 陳文元; 肖奇軍; 崔峰; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】傳感技術學報 2008-11-20

59 模糊控制在靜電懸浮轉子微陀螺起支中的應用 肖奇軍; 陳文元; 崔峰; 李勝勇; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院; 廣東肇慶學院電子信息工程系 【期刊】中國慣性技術學報 2008-12-15

60 基于MEMS強鏈的移動硬盤加密系統(tǒng)設計和FPGA實現(xiàn) 湯堅; 陳文元; 張衛(wèi)平; 李怡斌; 許鵬 上海交通大學微納科學技術研究院 【期刊】計算機應用 2008-12-15

61 反磁懸浮渦流旋轉微陀螺的定子研究 劉凱; 張衛(wèi)平; 陳文元; 劉武; 李凱; 戴福彥 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工國防實驗室 【期刊】微細加工技術 2008-12-15

62 靜電懸浮轉子微陀螺懸浮控制系統(tǒng)的研究 肖奇軍; 崔峰; 李勝勇; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院 上海; 肇慶學院電子信息工程系; 廣東肇慶 【期刊】傳感技術學報 2008-02-15

63 Pyrex玻璃金屬化凹坑的濕法腐蝕 崔峰; 肖奇軍; 吳校生; 張衛(wèi)平; 陳文元; 趙小林 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】功能材料與器件學報 2008-02-25

64 柔性膜式微型電磁驅動器的設計與仿真分析 蘇宇鋒; 楊杰偉; 趙江銘; 劉武發(fā); 陳文元 鄭州大學機電一體化研究所; 上海交通大學微納米科學技術研究院 鄭州; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 微米納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】微納電子技術 2008-06-15

65 懸浮轉子式微陀螺技術關鍵、創(chuàng)新設計和最新進展 張衛(wèi)平; 陳文元; 趙小林; 吳校生; 崔峰; 劉武; 黃曉剛; 肖奇軍; 馬高印; 張忠榕 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】功能材料與器件學報 2008-06-25

66 基于微加速度計的AIR-MOUSE的研究 姜曉波; 陳文元; 湯堅; 錢莉; 凌靈 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學 【期刊】微計算機信息 2008-08-05

67 微機械電容式加速度計的結構及檢測技術研究 凌靈; 陳文元; 李凱; 姜曉波 上海交通大學微納科學技術研究院 【期刊】儀表技術與傳感器 2008-08-15

68 一種振動膜式雙向微型電磁驅動器的制作工藝 蘇宇鋒; 郭丹; 劉德平; 陳文元 鄭州大學機電一體化研究所; 上海交通大學微納米科學技術研究院 【期刊】機械設計與制造 2008-09-08

69 靜電懸浮轉子微陀螺高努森數(shù)下的空氣阻尼力矩 馬高印; 陳文元; 崔峰; 張衛(wèi)平; 王立奇 上海交通大學微納科學技術研究院; 微/納加工技術國家級重點實驗室 【期刊】傳感技術學報 2008-08-15

70 雙定子靜電微電機控制系統(tǒng)的信號檢測研究 張忠榕; 劉武; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細加工教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2008-05-20

71 基于MEMS&FPGA的USB移動硬盤加解密系統(tǒng) 張晶; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學 【期刊】微計算機信息 2008-09-15

72 全固態(tài)微陀螺的研究進展 吳校生; 陳文元; 崔峰 上海交通大學微納科學技術研究院; 微米/納米加工技術國家重點實驗室薄膜與微細技術教育部重點實驗室 【期刊】電子器件 2008-10-15

73 磁懸浮轉子微陀螺及其懸浮力與穩(wěn)定性的分析 吳校生; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 上海 【期刊】傳感器技術 2003-12-20

74 基于LIGA技術的3K-2型微行星齒輪減速器的設計和制造 張衛(wèi)平; 陳文元; 陳迪; 吳校生; 陳曉梅; 徐正福 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心 上海市 【期刊】中國機械工程 2003-03-15

75 微機電安全密碼鎖的設計技術 高楊; 文貴印; 趙小林; 陳文元; 張琛 上海交通大學微納米科學技術研究院; 中國工程物理研究院電子工程研究所; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 上海; 四川綿陽 【期刊】微納電子技術 2003-08-25

76 微小機電強鏈中的驅動器 張衛(wèi)平; 陳文元; 趙小林; 高揚; 吳校生 上海交通大學微納米科學技術研究院信息存儲研究中心; 上海交通大學微納米科學技術研究院信息存儲研究中心; 上海交通大學微納米科學技術研究院信息存儲研究中心 上海; 中國工程物理研究院電子工程研究所; 四川綿陽 【期刊】微納電子技術 2003-08-25

77 MAX618在電磁微電機步進驅動中的應用 王守亮; 陳佳品; 李振波; 高楊; 陳文元; 趙小林 上海交通大學微納米技術研究院; 上海交通大學微納米技術研究院; 中國工程物理研究院電子工程研究所; 上海交通大學微納米技術研究院 上海 【期刊】微處理機 2005-02-28

78 微機械密碼鎖鑒碼機構的UQS機理研究及其工藝實現(xiàn) 姜勇; 陳文元; 張衛(wèi)平; 李勝勇 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米與納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米與納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】新技術新工藝 2005-05-25

79 基于MEMS技術的撲翼式微飛行器的研究 左德參; 陳文元; 彭松林; 李智軍; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院 微米/納米加工技術國家重點實驗室; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室上海; 微米/納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】系統(tǒng)仿真學報 2005-06-20

80 懸浮轉子式微機械陀螺儀的研究進展 崔峰; 陳文元; 蘇宇鋒; 吳校生 上海交通大學微納米科學技術研究院微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院微米納米加工技術國家級重點實驗室 上海 【期刊】壓電與聲光 2005-06-25

81 微型聚合酶反應芯片的精確溫度控制 賈曉宇; 牛志強; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室 【期刊】微計算機信息 2005-04-30

82 基于玻璃-PDMS復合結構的微型毛細管被動閥 牛志強; 賈曉宇; 李建華; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院; 上海交通大學微納科學技術研究院 薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室上海; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室上海 【期刊】功能材料與器件學報 2005-09-25

83 基于MEMS技術的無線鼠標 錢莉; 陳文元; 黃得志; 楊華峰; 張衛(wèi)平 薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室上海交通大學微納科學技術研究院; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室上海交通大學微納科學技術研究院; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家級重點實驗室上海交通大學微納科學技術研究院 上海 【期刊】北京電子科技學院學報 2005-12-30

84 靜電懸浮轉子微陀螺及其關鍵技術 崔峰; 蘇宇鋒; 張衛(wèi)平; 吳校生; 陳文元; 趙小林 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米/納米加工技術國家重點實驗室 上海 【期刊】中國慣性技術學報 2005-12-28

85 柔性膜微型電磁驅動器的設計與制作工藝 蘇宇鋒; 陳文元; 陳曉梅; 張衛(wèi)平; 王偉 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 中船集團公司726研究所 上海 【期刊】儀表技術與傳感器 2005-12-25

86 動態(tài)被動閥微泵的設計優(yōu)化和制造 張衛(wèi)平; 陳文元; 吳校生; 陳曉梅; 徐正福 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心 上海 【期刊】機械設計與研究 2003-04-30

87 電磁驅動柔性振動膜無閥微泵 蘇宇鋒; 陳文元; 崔峰 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室 上海 【期刊】微細加工技術 2003-12-30

88 電磁微電機的設計與制造技術 高楊; 趙小林; 陳文元; 張琛 中國工程物理研究院電子工程研究所; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 四川綿陽 【期刊】信息與電子工程 2003-09-30

89 基于電磁微電機的密碼鎖控制系統(tǒng)研制 陳松 ; 陳佳品 ; 李振波 ; 陳文元 ; 趙小林 上海交通大學信息存儲中心; 上海交通大學信息存儲中心 【期刊】電子技術 2003-10-12

90 基于AT90S8515的微密碼鎖的微馬達測試系統(tǒng) 樊曉霞 ; 陳佳品; 李振波; 陳文元; 趙小林 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 上海 【期刊】測控技術 2004-02-18

91 微馬達在微機械密碼鎖中的控制 樊曉霞; 陳佳品; 李振波; 陳文元; 趙小林 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 上海 【期刊】計算機工程 2004-04-05

92 磁懸浮轉子微陀螺的微細加工工藝研究 吳校生; 陳文元; 趙小林; 張衛(wèi)平; 何淼 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室 上海 【期刊】微細加工技術 2004-03-30

93 磁懸浮轉子微陀螺中轉子微加工方法的研究 何淼; 吳校生; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 上海 【期刊】機械設計與研究 2004-06-30

94 一種高分子聚合物PCR芯片的設計及有限元分析 牛志強; 賈曉宇; 張衛(wèi)平; 李建華; 陳文元 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室 上海 【期刊】微細加工技術 2004-09-30

95 基于MEMS的微泵研究進展 蘇宇鋒; 陳文元 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微米納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室 微米納米加工技術國家級重點實驗室; 微米納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】微納電子技術 2004-05-15

96 一種用于同步輻射光束線上的壓彎機構的設計與試驗 王俊杰; 陳文元; 張衛(wèi)平; 姜勇; 劉鵬; 盛偉繁; 胡天斗 上海交通大學薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 中國科學院高能物理研究所; 中國科學院高能物理研究所 微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 微米/納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】機械設計與研究 2004-12-30

97 微通道式PCR芯片溫度的研究 賈曉宇; 牛志強; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】微細加工技術 2004-12-30

98 基于Parylene薄膜的微型電磁驅動器的設計與工藝 蘇宇鋒; 陳文元 上海交通大學微米、納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微米、納米技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米納米加工技術國家級重點實驗室 【期刊】機械制造 2004-12-20

99 磁懸浮轉子微陀螺懸浮線圈的結構設計 吳校生; 陳文元; 趙小林; 李振波; 張衛(wèi)平; 崔峰; 何淼 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細加工技術教育部重點實驗室 上海 【期刊】上海交通大學學報 2005-01-30

100 PKI技術及其存在問題的分析 李勝勇; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 【期刊】微計算機信息 2005-01-10

101 多層復雜結構準LIGA一體化加工工藝的研究 姜勇; 陳文元; 趙小林; 丁桂甫; 倪志萍; 王志民 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米與納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米與納米加工技術國家級重點實驗室; 上海交通大學微納米科學技術研究院薄膜與微細技術教育部重點實驗室微米與納米加工技術國家級重點實驗室 上海 【期刊】微細加工技術 2005-03-30

102 一種新型電磁驅動微泵的設計與制作工藝 蘇宇鋒 ; 陳文元 ; 崔峰 上海交通大學微米納米技術研究院; 上海交通大學微米納米技術研究院 【期刊】新技術新工藝 2005-02-25

103 BSRF1W1B-XAFS光束線研制 謝亞寧; 胡天斗; 劉濤; 張靜; 陳文元; 張衛(wèi)平; 高雪官 中國科學院高能物理研究所同步輻射室; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學機械工程與動力學院 北京 【期刊】核技術 2004-12-15

104 生物大分子晶體學光束線準直鏡、聚焦鏡系統(tǒng)的設計 張衛(wèi)平; 陳文元; 吳校生; 陳曉梅; 盛偉繁; 劉鵬; 胡天斗 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心; 中國科學院北京高能物理研究所; 中國科學院北京高能物理研究所 上海 【期刊】機械設計與研究 2002-10-30

105 微機械密碼鎖中的鑒碼器機構 龐軍玲; 陳文元 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 上海 【期刊】機械設計與研究 2002-12-30

106 公文審批數(shù)據(jù)庫的制作 李世峰; 李玉東; 陳文元; 丁濤 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海索源系統(tǒng)有限公司 【期刊】微型電腦應用 1999-03-30

107 微行星齒輪減速器的計算機輔助建模和仿真的研究 張衛(wèi)平; 陳文元; 丁濤; 李世峰 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】微型電腦應用 1999-05-30

108 基于公共網(wǎng)絡的虛擬專用網(wǎng)探析 范志榮; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學信息存儲研究中心國家教委薄膜與微細技術部門開放實驗室; 上海交通大學信息存儲研究中心國家教委薄膜與微細技術部門開放實驗室 【期刊】計算機應用研究 2000-03-28

109 模數(shù)≤0.06mm的微行星齒輪減速器的CAD/CAM技術 張衛(wèi)平; 陳文元; 范志榮; 徐正福 上海交通大學信息存儲研究中心薄膜與微細加工國家教委開放實驗室; 上海交通大學信息存儲研究中心薄膜與微細加工國家教委開放實驗室; 上海交通大學信息存儲研究中心薄膜與微細? 【期刊】機械設計 2000-12-20

110 微3K-2型行星齒輪減速器中微齒輪嚙合模型和參數(shù)計算 陳文元; 張衛(wèi)平; 范志榮 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】上海交通大學學報 2000-03-30

111 LIGA技術制造微齒輪中X光掩模板圖形的CAD設計 陳文元; 張衛(wèi)平; 周迪; 范志榮 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】微細加工技術 2000-03-30

112 基于多協(xié)議標記交換的虛擬專用網(wǎng) 徐正福; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心 【期刊】電子工程師 2001-08-30

113 多協(xié)議標記交換(MPLS)中的QoS 徐正福; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心; 上海交通大學信息存儲研究中心 上海 【期刊】通信技術 2001-07-30

114 懸浮轉子式MEMS微陀螺的研究概況 陳文元; 崔峰; 吳校生; 張衛(wèi)平 上海交通大學微納米科學技術研究院; 上海交通大學微納米科學技術研究院 【會議】2006年船舶通訊導航學術會議論文集 2006-11-01

115 基于NRF9E5射頻無線遙控系統(tǒng)的設計 左德參; 馮敏華; 彭松林; 曹雯; 陳文元 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室; 薄膜與微細技術教育部重點實驗室; 上海交通大學微納科學技術研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室 【會議】2006年全國電子機械和微波結構工藝學術會議論文集 2006-11-01

榮譽獎勵：

曾獲上海市振興一等獎，科技進步三等獎，國家教委科技進步一、二等獎。

1989年獲北京國際博覽會金獎。

1990年獲上海市科技結合生產(chǎn)振興一等獎。

1992年獲上海市科技進步三等獎。

1998年獲國家教委科技進步二等獎。

1999年獲國家教育部科技進步一等獎。

2000年獲國家科技發(fā)明二等獎。

資料更新中……

媒體報道：

見“微”知“著”

–––記國家技術發(fā)明二等獎獲得者、微納研究院陳文元教授

一項科研成果擁有40項發(fā)明專利、專利數(shù)目居300多個國家科技獎獲獎項目之首；一個人申請了80多項發(fā)明專利、其中已授權30多項、被譽為“發(fā)明家”。這就是我校獲得 2008年國家技術發(fā)明二等獎的項目“非硅MEMS技術及其應用”，和項目的第一完成人、我校微納科學技術研究院陳文元教授。

MEMS：高科技離我們并不遙遠

MEMS是微電子機械系統(tǒng)的英文縮寫，從集成電路發(fā)展而來，把傳感器、執(zhí)行器、微電子線路集成在一起，完成一定的功能。它首先從硅基MEMS開始，但非硅材料眾多，包括各種金屬、聚合物、壓電陶瓷等，有不同特性，可滿足不同需求。非硅MEMS技術是硅基MEMS技術的補充和發(fā)展。

聽起來有些生僻的“MEMS技術”其實與我們的生活關系密切：照相機中的防震設置、手機中的隱匿天線、汽車撞車后氣囊彈出傳感器，都是MEMS技術在日常生活中的典型應用。

陳文元和所在團隊，在國家863計劃等項目支持下，通過自主創(chuàng)新和發(fā)明，在三維非硅MEMS-微加工新技術、非硅微執(zhí)行器、基于非硅微加工技術的集成微流控聚合物生化芯片、基于非硅微加工技術的微光器件、非硅電磁型微系統(tǒng)等方面取得了一系列成果，這些成果奠定了非硅MEMS技術的基礎，具有完全知識產(chǎn)權，項目總體達到國際先進、國內領先水平，從加工技術到微器件，從研究到應用，成為一個完整的非硅MEMS技術體系。

基于非硅微加工技術的集成微流控聚合物生化芯片，被稱為“片上實驗室”、“在線化學放大器”，通過在玻璃和其他材料，合成生物檢驗的芯片，能快速低成本地完成生化試驗。

基于非硅微加工和電磁型微馬達技術發(fā)明的“MEMS-強鏈”，是一種涉及國防安全的強對抗性、高可靠性的保險裝置，它通過由微驅動器驅動的鑒碼輪系和信息能量耦合系統(tǒng)，形成“硬”的物理屏障，實現(xiàn)“對合法用戶是開放的，對非法用戶入侵系統(tǒng)是關閉的”功能�？捎糜谖淦餮b備，彈藥庫，機要部門，政府機關，銀行，金融等部門的信息安保系統(tǒng)。想給您的電腦、硬盤加一個只有您自己能打開的“超級密碼鎖”？“MEMS-強鏈”技術上已經(jīng)實現(xiàn)。

2個“八年抗戰(zhàn)”，贏得2次國家科技獎

陳文元教授已經(jīng)是第二次獲得國家科技發(fā)明獎了。2000年，他參加的“實用電磁微馬達關鍵技術研究項目”已經(jīng)獲得了MEMS領域的第一個國家科技獎。陳文元和很多人一樣依然記得：1999年，依據(jù)他們發(fā)明的微馬達制作的翼展18毫米的小飛機，作為上海建國50周年的獻禮在北京展出引起轟動，包括時任國家主席的江澤民學長在內的多位國家領導人都來參觀。但是，人們不知道的是，從微馬達的研究到應用于能夠表演的小飛機，陳文元和同事們在實驗室里做了8年。巧的是，又用了8年時間，再次獲得了國家科技發(fā)明獎，陳文元教授戲稱：“正好兩個八年抗戰(zhàn)�！�

剛開始做科研的時候，缺少資金的支持，也沒有明確的方向�！白铋_始只有6萬元經(jīng)費�！钡�是大家沒有放棄，也沒有動搖，咬著牙堅持走過了最初的困難階段�！案憧蒲胁荒芗惫�近利，要耐得住寂寞。”陳文元經(jīng)常這樣對團隊中的師生講述所謂的成功經(jīng)驗：“特別是高新科技領域內，特別要踏踏實實，沒有捷徑可走，只能厚積薄發(fā)。”因為兩次獲得國家科技獎，大家稱陳文元為“獲獎專業(yè)戶”。殊不知，“獲獎專業(yè)戶”首先是“吃苦專業(yè)戶”、“碰壁專業(yè)戶”，不怕吃苦，不怕碰壁，按照認定的方向堅持到底，才“吹盡黃沙始得金”。

30余項專利，贏得“發(fā)明家”美稱

本年度的國家科技大獎發(fā)明專利數(shù)目激增，300余個獲獎項目共擁有發(fā)明專利840項，成為我國原始創(chuàng)新能力提升的標志性數(shù)據(jù)，“非硅MEMS技術及其應用”成為其中的代表性項目，共申請了70多項專利，到去年申報時就已經(jīng)獲得授權40項，其中陳文元貢獻18項。目前，陳文元本人申請的專利已達80余項，已獲授權30余項，享有“發(fā)明家”的美譽。

“當然，僅僅能吃苦是不夠的，我也有一點‘秘訣’”陳文元教授忽然露出些許“神秘的笑容”–––“那就是要找準方向�！痹瓉恚瑖乐�?shù)目茖W家也有幽默風趣的時候。

MEMS是硅微加工技術發(fā)展起來的，可是，硅比較脆，在惡劣的外部環(huán)境條件下比較容易受到影響。在研究的過程中，陳文元及其團隊逐漸產(chǎn)生了新的想法。

1989年美國鹽湖城的一次會議上，MEMS的概念首次被提出來了。在上世紀90年代初，陳文元及其團隊根據(jù)非硅材料特點和自己的研究基礎，確定了非硅MEMS的研究方向。好的開始是成功的一半，因為找對了方向，也因為在國內起步最早，陳文元和他的團隊對非硅MEMS研究越來越深入、系統(tǒng)和全面，形成了比較完整的非硅MEMS研究體系�！熬盼濉焙笃�，國家相關計劃將非硅 MEMS技術列為重點發(fā)展方向之一。在國家的大力支持下，2000年，電磁型微馬達項目獲得了國家技術發(fā)明二等獎，成為MEMS領域內的第一個國家獎。在這個方向上，僅2006年微納研究院就拿到了6個國家863項目，我校在非硅MEMS領域內的研究水平和科研實力，已經(jīng)得到了國家和社會的確認。

“目標是在做的過程中逐漸明確的。重要的是找準方向，更重要的是堅持到底�！报C––陳文元這樣鼓勵別人，其實也是在這樣鼓勵自己。

“我們要把樣品發(fā)展成為產(chǎn)品，否則發(fā)明有什么意義？”已經(jīng)獲得了兩個國家科技獎，但陳文元顯然并沒有滿意，因為“還沒有達到預想的目標，產(chǎn)生理想的經(jīng)濟效益”�！拔覀円�更努力把技術搞得更好，我相信，通過若干年的努力，MEMS的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化一定會到來�！标愇脑獙Υ松钚挪灰伞�

從1989年到現(xiàn)在，非硅MEMS-的發(fā)展不過二十年，但發(fā)展的速度十分驚人，為了和國際先進水平保持同步，陳文元及其團隊依然在努力。他們知道，得益于材料種類的廣泛多樣性，非硅MEMS技術擁有非常廣闊的發(fā)展空間�！敖梃b硅基MEMS技術發(fā)展的經(jīng)驗，充分利用材料、機械、電子等交叉學科優(yōu)勢，繼續(xù)發(fā)揮原創(chuàng)和集成創(chuàng)新，非硅MEMS技術的發(fā)展和應用前景將不可限量”。陳文元對此充滿信心。

微納研究院陳文元團隊的科研成果

來源：《上海交通大學新聞網(wǎng)》2009年02月20日